Pulēšanas mašīnas izlaišanas pielietojums
Laping un pulēšanas mašīnas ir kritiski instrumenti precīzas virsmas inženierijā. Paredzēts, lai sasniegtu ultra - plakanas virsmas, stingras biezuma pielaides un smalkas virsmas apdares, šīm mašīnām ir būtiska loma plašā diapazonā no augsta - tehnoloģiju nozares. Zemāk ir - dziļuma pārskats par to galvenajām lietojumprogrammām:
Pusvadītāju vafeļu apstrāde
Pusvadītāju substrāta sagatavošanā galvenie soļi ir galvenie soļi. Pirms epitaksiālās augšanas vai ierīces izgatavošanas silīcija vafelēm jābūt pilnīgi līdzenām un bez zemūdens bojājumiem. Lapping tiek izmantots, lai noņemtu zāģa bojājumus un pareizas biezuma variācijas, savukārt pulēšana rada defektu - bezmaksas spoguļa virsma augstai - ražas ražošanai.
Materiāli, kas parasti apstrādāti:
- Silīcijs (SI)
- Gallium arsenīds (GaAs)
- Silīcija karbīds (sic)
- Safīrs
Pieteikumi ietver:
- IC izgatavošana
- MEMS ierīces substrāti
- Elektronika
Optiskā komponenta izgatavošana
Optiskās sistēmās virsmas precizitāte un apdare tieši ietekmē gaismas pārraidi un attēla kvalitāti. Laping un pulēšanas mašīnas tiek izmantotas, lai iegūtu īpaši - plakanas lēcas, prizmas, spoguļus un logus. Šiem komponentiem jāatbilst stingrām virsmas raupjuma prasībām (bieži zem RA 5 nm) un jāsaglabā stingrs paralēlisms un plakanums.
Parastie optiskie materiāli:
- Kausēts silīcija dioksīds
- Bk7 stikls
- Cinka selenīds (ZNSE)
- Kalcija fluorīds (CAF₂)
Nozares, kas apkalpotas:
- Lāzera optika
- Infrasarkanais un ultravioletais attēlveidošana
- Aerospace navigācijas sistēmas
- Medicīniskās attēlveidošanas ierīces
Kvarca un pjezoelektrisko ierīču ražošana
Lai nodrošinātu frekvences stabilitāti, kvarca un citiem pjezoelektriskiem materiāliem nepieciešama augsta - precizitātes biezuma kontrole un zems virsmas spriegums. Lapping mašīnas tiek izmantotas, lai veidotu un plānas kristāla sagataves, savukārt pulēšana nodrošina gludu virsmu elektrodu nogulsnēšanai un iesaiņošanai.
Tipiskas lietojumprogrammas:
- Oscilatora kristāli
- Virsmas akustiskais viļņu (zāģa) ierīces
- Spiediena sensori
- Ultraskaņas devēji
Metāla un keramikas komponentu apdare
Cietie metāli un uzlabotā keramika -, piemēram, volframa karbīda, alumīnija oksīda un cirkonija -, bieži ir nepieciešama lāpšana un pulēšana, lai sasniegtu precīzus izmērus un uzlabotu nodiluma izturību. Šīs virsmas parasti tiek izmantotas augstos - Precīzijas mehāniskos mezglos un valkā - -mēroga vidi.
Piemēri ir:
- Mehāniskās blīves
- Precizitātes mērierīces
- Vārstu komponenti
- Aviācijas un kosmosa turbīnu asmeņi
LED un saliktie pusvadītāju substrāti
Lapēšana un pulēšana ir būtiska, lai retinātu un plakanizētu substrātus, ko izmanto LED un optoelektronisko ierīču ražošanā. Lai nodrošinātu labu epitaksiālo slāņa augšanu, tādiem materiāliem kā safīrs, Gan un INP jāatbilst stingriem plakanumam un paralēlisma standartiem.
Galvenās lietojumprogrammas:
- Zilā un baltā LED substrāti
- Fotoniskās un lāzera diožu vafeles
- Optiskie sensori
Stikls un cietā kristāla apstrāde
Augstas - gala pulksteņa stikls, viedtālruņu pārsegi un specializētie optiskie filtri bieži saistīti ar smagu materiālu, piemēram, corundum (safīra), gorilla stikla vai ultra - plānu stikla palagu pulēšanu. Lapting un pulēšanas mašīnas nodrošina kontroli, kas nepieciešama gan skaidrības, gan izmēru precizitātes saglabāšanai.
Pētniecība un materiālā zinātne
Laboratorijās paraugu sagatavošana mikroskopiskai analīzei, virsmas raksturošanai un kļūmju analīzei paraugu sagatavošanai ir nepieciešami laboratorijās. Precīziem SEM, TEM vai AFM rezultātiem ir būtiska konsekventa virsmas kvalitāte.
Lietošanas gadījumi ietver:
- Metalogrāfiskā parauga sagatavošana
- Plānas plēves substrāta apdare
- Cross - Sadaļa Pulējot mikroskopiju