YAG kristāls
1. Ievads
YAG (itrija alumīnija granāts, Y3Al₅O₁2) kristāls ir lielisks lāzera un optiskais materiāls, kas pazīstams ar savu augsto cietību, augstu siltumvadītspēju, labu ķīmisko stabilitāti un izcilu optisko viendabīgumu. To plaši izmanto cietvielu-lāzeros, LED fosfora substrātos, optiskajos logos, medicīnas lāzeriekārtās un aizsardzības elektro-optiskajās sistēmās.
Uzņēmumam Hemei ir dziļas tehniskās zināšanas cietu un trauslu materiālu precīzā apstrādē. Tas ir izstrādājis efektīvu un stabilu pulēšanas procesu, kas īpaši paredzēts YAG kristāliem, ļaujot pilnībā kontrolēt apstrādi no rupjas līdz smalkai pulēšanai. Tas nodrošina, ka YAG kristāla virsma atbilst "lāzera-pakāpes" vai "optiskās{{3} pakāpes" lietojumu kvalitātes standartiem.
2. Pieteikšanās prasības
YAG kristālu pulēšanas mērķi ietver:
Virsmas raupjums (Ra) samazināts līdz < 0,5 nm.
Virsmas attēla precizitāte (PV vērtība) labāka par λ/10 (@632,8 nm).
Virsma bez bojājumiem un zem{0}}virsmas plaisām, kas atbilst lāzera-inducēto bojājumu sliekšņa (LIDT) prasībām.
Biezuma viendabīgums (TTV) tiek kontrolēts noteiktā mikrometru diapazonā.
Lai sasniegtu šos mērķus, Hemei procesā tiek izmantota pielāgota līmēšanas sistēma un daudzpakāpju pulēšanas procedūra, kas apstrādes laikā nodrošina ģeometrisko precizitāti un virsmas integritāti.
3. Sistēmas specifikācijas
Hemei modulārā pulēšanas sistēma atbalsta dažādu izmēru un formu YAG kristālu apstrādi. Pamatsistēma ietver:
HSM{0}}L/LP sērijas apgriešanas aprīkojums:Izmanto sākotnējai materiāla noņemšanai un biezuma kontrolei.
HSM-CMP sērijas ķīmiskās mehāniskās pulēšanas (CMP) sistēma: Izmanto, lai iegūtu īpaši-gludu virsmu bez bojājumiem-.
Galvenās apakšsistēmas:
Vafeļu/kristālu{0}}specifiskā līmēšanas vienība (WBU)
SJ/ASJ sērijas precīzās pulēšanas ķermeņi
C-ASJ piedziņas galvas ātrgaitas-pulēšanas sistēma
4. Apstrādes plūsma
Līmēšana un montāža:YAG kristāls tiek īslaicīgi piestiprināts pie atbalsta plāksnes, izmantojot WBU, un pēc tam tiek uzstādīts uz pulēšanas armatūras.
Rupja un vidēja pulēšana:HSM{0}}L aprīkojumam tiek veikta kontrolēta pārklāšana, lai noņemtu bojāto slāni no apstrādes.
Smalka pulēšana:Galīgajai pulēšanai tiek izmantota HSM{0}}CMP sistēma. Reāllaikā pielāgojot tādus parametrus kā spiediens, rotācijas ātrums un vircas plūsma, tiek panākta nanomēroga virsmas apdare.
5. Tipiski rezultāti
Virsmas raupjums: Ra < 0,5 nm
Virsmas attēla precizitāte: PV mazāka vai vienāda ar λ/10
Materiāla noņemšanas ātrums: 1-2,5 μm/stundā (regulējams)
Attiecas uz YAG vafelēm, kuru diametrs ir mazāks par vai vienāds ar 6 collām un neregulāras formas kristāliem.
6. Kopsavilkums
Uzņēmums Hemei nodrošina pilnīgu un uzticamu YAG kristālu pulēšanas risinājumu, kas spēj pastāvīgi sasniegt nanomēroga virsmas kvalitāti un augstu optisko veiktspēju. Tas atbalsta YAG rūpniecisko pielietojumu{1}}augstākās klases jomās, piemēram, lāzeros un optoelektronikā.
Iepriekš minētais process tiek pabeigts, izmantojot Hemei pusvadītāju pārklāšanas un pulēšanas mašīnu
